Product

Pure Gas

품목 Purity Package 충전량 적용공정
Cylinder Valve
NO 3N5, 4N (99.95%, 99.99%) 47L JISS22R 490psi, 290psi 증착공정
CF₄ 5N (99.999%) 47L, 440L DISS716, JISS22R 30kg, 32kg, 300kg 세정 및 식각공정
HBr 5N, 5N5 (99.999%, 99.9995%) 47L CGA330, DISS634 50kg, 55kg 식각공정
Si₂H₆ 4N8 (99.998%) 47L JISS22L, DISS632 5kg, 10kg, 20kg 증착공정
C3F8 5N (99.999%) 47L JISS22R 40kg 세정 및 식각공정
He 5N, 6N (99.999%, 99.9999%) 47L, Bundle CGA 580, JISS22R 130Bar, 170Bar Carrier 및 Purge 공정

담당자 .오동규 차장 (영업팀)

TEL : 043-713-1521 / E mail : dgoh@hansol.com

담당자 .박형열 과장 (영업팀)

TEL : 043-713-1523 / E mail : hypark@hansol.com